“中国芯”再添利器 全国首台晶圆级“等离子多驱解离刻蚀设备” 发布!
国产高端半导体装备再传捷报!5月23日,珠海恒格微电子全国首台晶圆级“等离子多驱解离刻蚀设备”发布,为我国芯片制造国产化替代注入强劲动能。
记者:陈伊琼
摄像:罗晓龙
编辑:王裕彤
编审:林景静
监制:李蓉
编辑:王裕彤 责任编辑:王朝辉
“中国芯”再添利器 全国首台晶圆级“等离子多驱解离刻蚀设备” 发布!
观海融媒 2025-05-24 17:00
国产高端半导体装备再传捷报!5月23日,珠海恒格微电子全国首台晶圆级“等离子多驱解离刻蚀设备”发布,为我国芯片制造国产化替代注入强劲动能。
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