1月15日，珠海首条自主建设的6英寸MEMS芯片生产线在金湾区建成通线。该产线由云际芯光（珠海）微电子有限公司投建，从启动到贯通仅用时约一年，标志着珠海在特色工艺半导体制造领域实现关键突破。

“芯”成果：

“金湾效率”助力全链条自主制造

云际芯光此次建成的生产线，位于金湾区三灶镇定家湾片区，具备光刻、薄膜、刻蚀、键合、检测等完整工艺环节，可实现MEMS芯片的规模化生产。

该产线采用模块化布局与高效动线设计，旨在快速实现工艺导通与稳定量产，为公司SMR滤波器、石英晶振等核心产品提供自主制造能力。

“建设周期最短、通线速度最快。”云际芯光这样定义MEMS产线建设的“珠海速度”“金湾效率”。

此次通线，使云际芯光完成了从设计、工艺到制造的全链条闭环，大幅提升了公司的市场响应速度与产品交付能力，为公司未来的高速发展、引领市场奠定了坚实的制造根基。

“芯”技术：

已申请专利30余项

云际芯光成立于2023年11月，与天津大学深度合作，成立联合研究中心，技术团队具备深厚的MEMS研发与产业化背景。公司聚焦压电MEMS技术，已形成四大产品方向：

SMR滤波芯片：应用于5G/6G、卫星通信等领域，已推出50余款产品，频率覆盖1GHz-8.5GHz。

PMEMS声学传感器：基于自主研发的IPP芯片架构，性能媲美传统陶瓷传感器，且体积更小、可靠性更高，适用于水听、测距、流量检测等场景。

高基频石英晶振：采用自主QMEMS工艺，频率可达70-300MHz，其中156.25MHz产品已实现对国际主流型号的国产替代。

高精度压力传感器：目标精度0.01%FS，适用于工业监测、高端装备等领域。

公司已申请专利30余项，覆盖结构设计、材料开发、封装测试等关键环节。

“芯”选择：

完善珠海半导体产业链“关键一环”

云际芯光选择落户珠海金湾，与当地聚焦集成电路产业发展的布局密切相关。近年来，金湾区不断加码集成电路产业集群建设。作为极具潜力的千亿级产业集群，金湾区重点布局制造与封测环节。

据金湾区相关负责人介绍，从产业结构上看，该产线作为珠海首个MEMS芯片制造项目，有效填补了珠海半导体产业链中“制造环节”的缺失，有望吸引上下游企业集聚，形成区域产业协同。

随着产线通线，云际芯光已与多家行业客户达成合作，产品将逐步应用于通信、汽车、工业等领域，助力高端MEMS芯片的国产化进程，值得更大期待！