2月10日，珠海至微半导体零部件清洗项目动工仪式在珠海高新区智能制造加速基地举行，标志着上海至纯科技在华南地区的战略布局迈出重要一步，将进一步推动半导体零部件清洗服务的升级与发展，为华南地区半导体产业集群发展带来新的活力与机遇。

据了解，珠海至微半导体科技有限公司是A股上市公司上海至纯洁净系统科技股份有限公司的子公司。作为国内集成电路领域的领军企业，至纯科技主要从事半导体制程和厂务设备的研发、生产以及半导体零部件清洗服务，多项技术已达国际先进水平，年营收约人民币40亿元。

珠海至微半导体零部件清洗项目于去年9月23日签约落户珠海高新区，由珠海高新区与横琴粤澳深度合作区联动引进。此次动工的厂房总面积达4200平方米，配置10级无尘车间，规划建设4条独立制程清洗产线及表面处理产线，预计年清洗产能可达36万件。项目聚焦半导体晶圆厂关键设备的零部件精密清洗与翻修服务，通过延长设备寿命、降低运营成本，助力晶圆厂高效生产。该项目旨在建设一个规模化的半导体清洗工厂，建成后将形成覆盖珠三角半导体晶圆厂的“2小时配套圈”，为区域半导体产业链提供快速响应服务。

在动工仪式上，珠海高新区党工委书记赵适剑表示，作为珠海的优势特色产业之一，珠海在集成电路设计领域基础深厚，且在制造与封测方面作出了一系列积极探索与尝试。珠海至微半导体零部件清洗项目的落户动工，无疑将进一步完善珠海集成电路的产业链与产业生态，为广东打造中国集成电路产业的“第三极”提供有力支撑。

广东省集成电路行业协会会长陈卫表示，珠海高新区地处大湾区黄金内湾核心区域，半导体产业发展氛围浓厚，营商环境优越，政务服务高效。珠海至微半导体零部件清洗项目的落地动工，将有力推动珠海高新区半导体与集成电路产业的腾飞。

“项目的顺利落地动工离不开珠海高新区各部门的大力支持。珠海高新区地理位置优越、交通便利、知名高校汇聚、企业服务贴心，为珠海至微的发展提供了良好的环境。”珠海至微半导体科技有限公司总经理马希松表示，未来，珠海至微将扎根珠海高新区，努力做大做强，为区域经济的高质量发展贡献力量。

据了解，作为珠海集成电路产业发展的主阵地，2024年珠海高新区半导体与集成电路产业经济规模已实现106亿元，同比增长22%。现有企业总数97家，占全市总数近70%。此次珠海至微半导体项目的动工，不仅彰显了珠海高新区在半导体领域的吸引力，更预示着华南地区集成电路产业生态的持续优化与升级。